ОПТИЧЕСКИЕ ЦИФРОВЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ        
ГЛАВНАЯ ПРОДУКЦИЯ ИССЛЕДОВАНИЯ УСЛУГИ ПУБЛИКАЦИИ ПАТЕНТЫ ДОСТИЖЕНИЯ ПАРТНЕРЫ КОНТАКТЫ ЗАПРОСЫ  
       
ИССЛЕДОВАНИЯ
Измерение динамической погрешности углового движения сканирующего зеркала
Оптический цифровой автоматизированный измеритель отклонений от прямолинейности
Новая концепция измерения угла; модельные
и экспериментальные исследования
Линейные и угловые измерения с использованием CCD-камер
Исследование точности позиционирования изображения на CCD-камере
Цифровой двухкоординатный автоколлиматор с разрешением 0.001 угловой секунды
Калибровка двухкоординатного цифрового автоколлиматора
Метрологические исследования и выбор формы оптической марки в цифровых измерительных системах
Использование Web-камеры для измерения колец и концевых мер на приборе ИЗА-8
Измерение ширины линии в оптическом и атомно-силовом микроскопе в задаче метрологического контроля фотошаблонов
Измерение диаметра и геометрии прецизионных шариков
Измерение и коррекция дисторсии в задачах координатных измерений на CCD-камере
   
ИССЛЕДОВАНИЯ

Калибровка двухкоординатного цифрового автоколлиматора

Калибровка прибора проводилась с использованием прецизионного углоизмерительного стола (УС) на поворотной части которого было установлено плоское зеркало. СКО результатов измерений при такой установке зеркала значительно превышает СКО при использовании призмы БКР-180º.  Поэтому для калибровки и измерения был использован метод совокупных измерений с оценкой линейной регрессии. Такой метод позволяет уменьшить влияние случайных погрешностей, связанных с механической нестабильностью стенда.

Совместные исследования УС и ЦАК позволяют сделать вывод о близости их метрологических параметров в части измерения угловой координаты. Разрешающая способность обоих приборов равна 0.01 угл. сек.

Для каждого направления (X, Y) было проведено по 2 цикла измерений.

В таблице 4 приведены результаты 1-го цикла измерений  угла при повороте зеркала, установленного на углоизмерительном столе (УС) для направления Х. При этом диапазон изменения отсчетов для направления Y не превышал 0.5 угл. сек.

Таблица 4

Номер
измерения
Угломерный
стол (угл.сек)
ЦАК Х
(угл.сек)
Расчет
по тренду
(угл.сек)
3-4
(угл.сек)
1 2

3

4

5

1

49.42

515.454

515.569

-0.115

2

100.12

464.532

464.462

0.070

3

151.00

413.220

413.173

0.047

4

200.45

363.301

363.326

-0.025

5

251.64

311.647

311.725

-0.078

6

300.48

262.512

262.493

0.019

7

350.96

211.549

211.608

-0.059

8

414.31

147.830

147.749

0.081

9

451.82

109.988

109.938

0.050

10

500.53

60.845

60.837

0.008

11

551.86

9.208

9.094

0.114

12

601.20

-40.673

-40.642

-0.031

13

650.85

-90.696

-90.690

-0.006

14

700.30

-140.562

-140.538

-0.024

15

751.97

-192.651

-192.622

-0.029

16

801.79

-242.839

-242.843

0.004

17

855.49

-296.949

-296.974

0.025

18

901.36

-343.199

-343.212

0.013

19

952.11

-394.397

-394.370

-0.027

20

1000.37

-442.939

-443.017

0.078

21

1052.05

-495.222

-495.112

-0.110

      СКО

0.061

На рис. 1 приведен график линейной регрессии по совокупности взаимных отсчетов УС и ЦАК (столбцы 2 и 3) для цикла Х1. Коэффициент при линейном члене регрессии является оценкой калибровочного коэффициента.

Рис. 1.
График линейной регрессии по совокупности взаимных отсчетов УС и ЦАК для цикла Х1.

В столбце 4 таблицы 4 приведены результаты расчета по формуле регрессии х = -1.00803x + 565.38584, где х – отсчеты угломерного стола, а в столбце 5 – разность между реальными измерениями ЦАК и результатами расчета по функции регрессии. Значения в столбце 5 могут рассматриваться как совокупная погрешность калибровки, определяемая метрологическими параметрами двух приборов. Внизу таблицы приведена СКО совокупной погрешности, равная 0.061 угл.сек. График совокупной погрешности для цикла Х1 приведен на рис.2.

Рис. 2. График совокупной погрешности для цикла Х1.

Для второго цикла измерений Х2 была получена формула регрессии y = -1.00797x + 565.42955, где х – отсчеты угломерного стола, а СКО совокупной погрешности составило 0.049 угл.сек.

Значение калибровочного коэффициента для направления Х принимаем равным среднему значению из двух циклов, а именно (1.00803+1.00799)/2 = 1.00801.

СКО совокупной погрешности порядка 0.05 угл сек и диапазон совокупной погрешности на уровне 0.1 угл. сек для двух приборов близкого уровня точности является хорошим показателем качества измерений.

Для калибровки по направлению Y труба автоколлиматора была развернута на 90о, при этом диапазон изменения отсчетов для направления Х не превышал 0.5 угл. сек. 

В таблице 5 приведены результаты 1-го цикла измерений угла при повороте зеркала, установленного на углоизмерительном столе, для направления Y.

 Таблица 5

Номер
измерения
Угломерный
стол (угл.сек)
ЦАК У
(угл.сек)

Расчет
по тренду
(угл.сек)

3 – 4
(угл.сек)
1

2

3

4

5

1

200.56

312.419

312.407

0.012

2

250.69

262.009

261.879

0.130

3

300.52

211.616

211.652

-0.036

4

352.11

159.669

159.652

0.017

5

407.67

103.597

103.651

-0.054

6

453.17

57.670

57.789

-0.119

7

501.29

9.221

9.286

-0.065

8

552.24

-42.092

-42.069

-0.023

9

600.71

-90.897

-90.924

0.027

10

652.26

-142.957

-142.884

-0.073

11

702.68

-193.504

-193.705

0.201

12

800.52

-292.360

-292.323

-0.037

      СКО

0.089

На рис. 3 приведен график линейной регрессии по совокупности взаимных отсчетов УС и ЦАК для цикла Y1.

Рис 3.
График линейной регрессии по совокупности взаимных отсчетов УС и ЦАК для цикла Y1.

В столбце 4 таблицы 5 приведены результаты расчета по формуле регрессии y = -1.00795x + 514.56157, где х – отсчеты угломерного стола, а в столбце 5 – разность между реальными измерениями ЦАК и результатами расчета по функции регрессии. Внизу таблицы приведена СКО совокупной погрешности, равная 0.089 угл.сек. График совокупной погрешности для цикла Y1 также приведен на рис. 4.

Рис.4. График совокупной погрешности для циклаY1.

Для второго цикла измерений Y2 была получена формула регрессии y = -1.00813x + 514.71177 , где х – отсчеты угломерного стола, а СКО совокупной погрешности составило 0.055 угл.сек.

Значение калибровочного коэффициента для направления Y принимаем равным среднему значению из двух циклов, а именно (1.00795+1.00813)/2 = 1.00804.

Близость калибровочных коэффициентов, величина СКО совокупной погрешности порядка 0.05 угл сек и диапазон совокупной погрешности менее 0.1 угл. сек для обоих направлений также является подтверждением высокого качества измерений.

Контрольные измерения.

После ввода в программу калибровочных коэффициентов были выполнены контрольные измерения. Поскольку УС не является сертифицированным средством измерения угла, контрольные измерения также проводились с использованием регрессионного анализа совокупных результатов измерений.

В таблице 6 приведены результаты контрольных измерений угла при повороте зеркала, установленного на углоизмерительном столе (УС) для направления Х.

На рис. 5 приведен график линейной регрессии по совокупности взаимных отсчетов УС и ЦАК (столбцы 2 и 3) для результатов измерений в направлении Х.

 Таблица 6

Номер
измерения

Угломерный
стол

(угл.сек)

ЦАК Х

(угл.сек)

Расчет
по тренду


(угл.сек)

3 – 4


(
угл.сек)

1

2

3

4

5

1

50.76

505.622

505.695

-0.073

2

152.03

404.442

404.417

0.025

3

252.61

303.814

303.829

-0.015

4

353.65

202.767

202.781

-0.014

5

452.41

104.042

104.013

0.029

6

552.48

4.001

3.935

0.066

7

652.21

-95.771

-95.803

0.032

8

750.85

-194.377

-194.451

0.074

9

852.23

-295.891

-295.839

-0.052

10

951.99

-395.656

-395.607

-0.049

11

1052.00

-495.655

-495.625

-0.030

      СКО

0.049

В столбце 4 таблицы 6 приведены результаты расчета по формуле регрессии y = -1.00008x + 556.71177, где х – отсчеты угломерного стола, а в столбце 5 – разность между реальными измерениями ЦАК и результатами расчета по функции регрессии. Внизу таблицы приведена СКО совокупной погрешности, равная 0.049 угл.сек. График совокупной погрешности для измерений в направлении Х также приведен на рис. 5.

Рис. 5. График совокупной погрешности для измерений в направлении Х.

Для совокупности измерений в направлении Y была получена формула регрессии y = -0.9999x + 510.56146, где х – отсчеты угломерного стола, а в столбце 5 – разность между реальными измерениями ЦАК и результатами расчета по функции регрессии, а СКО совокупной погрешности составило 0.048 угл.сек.

 Заключение.

Проведенные исследования и измерения позволяют сделать следующие выводы:

1. В соответствии с формулами линейной регрессии для контрольных измерений коэффициенты при линейном члене отличаются от 1 не более чем на ± 0.0001.  Это означает, что погрешность калибровки на краю контрольного диапазона ± 8 угл.мин не превышает 0.05 угл.сек, а в диапазоне ± 1 угл.мин – 0.006 угл. сек.

2. Для обоих направлений СКО совокупной погрешности не превышает 0.05 угл. сек.

3. Для обоих направлений максимальный размах совокупной погрешности не превышает ± 0.08 угл. сек.

4. Как следствие, полная погрешность цифрового двухкоординатного автоколлиматора не превышает 0.1 угл. сек. (при этом следует отметить, что это лишь верхняя метрологическая оценка точности прибора, привязанная к использованному средству измерений – углоизмерительному столу).

наверх