Интерферометры (Interferometers)
Изготавливаем под заказ интерферометры выполненные по схеме ФИЗО и предназначенные
для бесконтактного измерения формы оптических поверхностей. Интерферометры
ФИЗО используются как для контроля отклонения от плоскостности деталей с диаметром
до 300мм, так и для измерения параметров отклонения от сферичности сферических
поверхностей, а также для проведения других работ, связанных с анализом деформации
волновых фронтов.
Спецификация :
Диаметр детали - от 10 до 100 мм (по требованию - до 300 мм)
Точность – λ/20 (P-V)(при визуальном контроле)
Амплитуда измеряемых аберраций (P-V) - до 10λ
Источний излучения – HeNe-лазер
Длина волны источника излучения - 0.632 мкм
Визуализация интерференционной картины - ПЗС камера+монитор или компьютер.
При использовании компьютера возможно обработка интерференционной картины
с помощью программного обеспечения. Программное обеспечение позволяет обрабатывать
как интерференционные картины в реальном времени, так и сохранённые .bmp
файлы. При этом точность обработки интерферограмм составляет λ/400. Результаты обработки представляются в виде коэффициентов
при полиномах Цернике, а также в виде P-V и RMS, 2D и 3D распределения фазы
Процесс обработки включает:
Регистрацию интерференционной картины (или загрузку из .bmp файла)
Определение размеров исследуемой области
Фильтрацию, позволяющую исключить ложные экстремумы и шумы
Определение экстремумов
Восстановление фазы согласно координатам экстремумов, разложение по полиномам
Цернике, вычисление P-V, RMS.
На основании полученной информации производится отображение результатов измерений
в удобной для потребителя форме с возможностью формирования протокола измерений.
На основе базовой модели по требованию заказчика возможно изготовление специальных
аппаратно-программных комплексов для высокоточного контроля оптики в глубоком
ультрафиолетовом диапазоне (248нм) и контроля оптики среднего инфракрасного
диапазона (8-14мкм).
Возможна поставка различных интерферометрических насадок и аксессуаров для
интерферометров.
|